风速传感器在半导体VOCS处理中的应用
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项目采用沸石转轮浓缩+直燃式热氧化（TO）的治理方案。废气经主工艺风机输送至沸石转轮，废气中的VOCs被沸石吸附后达标排放至大气中，由脱附风机输送的热气将VOCs从沸石中脱附出来，再由TO风机输送至TO反应器中，被氧化成CO2和H2O，达标排放至大气中。
半导体Fab，在光刻和蚀刻过程中产生大量挥发性有机废气，包括PGME、PGMEA等成分，处理风量45000m³/hr，排放浓度为300mg/m³。
传感器应用：
防爆风量传感器IN70
管道风速传感器ee650
微差压传感器266
风管温湿度传感器EE160
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